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APMON
APMON表面粒子沉积监测仪
产品概述
「监控粒子的动态变化」详实记录粒子数量与大小。把制造环境中的粒子堆积风险，用数据化来管理
APMON采即时监控，纪录粒子落下发生的高峰时间，进一步比对发生当下的人、事、物行为，找出引发落尘的“程序”“行为”。这一检测粒子发生原因，并且抑制粒子发生的过程，有助于降低5μm以上的粒子附著。是欧规标准中的重要检讨项目。
经由解析落下粒子的大小
来改善生产线洁净度
APMON可以用图表呈现，过去特定时段内，机台所观测到的粒子大小分布方式。
15~30μm一般是皮肤或纤维、100um以上则多半是衣物纤维造成。30μm以下的粒子，
虽然有可能被换气排出，但是从现场的人员进出程序，与活动管制切入，更能快速达成目标清洁度。
在已经检出50μm以上的大型粒子的空间里，首先应进行洁净流程的重建，后续才能有效回复清洁，
无尘室中所使用，大型粒子的监控规格
粒子堆积率（Particle Deposition Rate）是指？
APMON不只是即时监控15~1000μm的所有粒子的动态数量，他还能计算出-段特定时间内的粒子堆积率PDR
PDR=粒子数（> Dμm）/面积（1m2）/时间（1h）
PDR能指出长时间堆积粒子的趋势，相当于每1平方公尺，表面上的粒子浓度变化率。
探用PDR做评价风险的指标，符合IS014644-17对于大型粒子的监控要求。
相对于PDR, PDRL定了义PDR的上限值（Particle Deposition Rate Limits）
藉由监控粒子堆积率，来管制大型粒子
APMON对于PDR参数的监控，可将生产环境中的落下粒子：浓度变化、大小分布，以及覆盖范围变化等动态，完全掌握。这数据，将协助定义出关键工作区域内的大型粒子「可允许浓度」（个数/面积），并加以监控后续每当「可允许浓度」发生超标的情形，就可以立即针对相关的「行为小「接触小、「表面清洁度J等等，进行试验性的改善，重新降低PDR。
以下是我们对于管控无尘室内的大型粒子，提出的完整建议：
1.使用PartSens评价关键位置的表面污染情形。
2.使用APMON建立无尘室内的行为准则。
APMON/PartSens将粒子的夹带、产生、堆积等过程，全面数据化。
如何详细描述风险性粒子
关键粒径（μm）
容许浓度（粒子数）
产品的关键表面大小（c㎡）
关键工作区域（㎡）
如何设定洁净度的上限规格
PDR （粒子堆积率）上限
SCP（表面洁净度）上限
检测原理
雷射全像技术可以实现大面积的监控
借由雷射光在物体表面绕射，及傅立叶转换等技术，实现3D成像，所得资料，即是五分钟前的粒子落下数量与粒子大小的累积值。
最短监控时间间隔，可以短至五分钟。
能执行大面积的监测,APMON的一大优势
粒子计数器(air particle counter)
只能检测漂浮在无尘室空气中的浮游粒子
粒子计数器（air particle counter）
通常是用窄口径的取样管，吸入粒子。
实际上，大型粒子不容易进到粒子计数器的探测区，也无法被吸入。
ISO等国际标准，已经要求用PDR(数据化）作为落下粒子的有效管控标准。
APMON-即时粒子沉积监控器
透过在生产区域布建APMON，将可以有效监控15μm大小以上的粒子堆积行为（最短探样区间：五分钟）
从此，造成粒子掉落的「时间」「人员」「原因」，都将有迹可循。
■链接示意图
专业软件监控/解析数据
■判读数据显示示例
涵盖粒子大小：
15~ 30~40~ 50~60、70~80~90~ 100~200~ 300~400~500>600~ 700~800~900、1000μm (最大直径)
应用领域
电子、半导体、医药、航空航天、精密仪器、汽车、实验室等领域的洁净室。
技术参数
可透过蓝芽、或有线网路做远端监控
感测器连接上限 | 最多两台 |
感测器无线连接上限 | 最多两台 |
电池(充电器) | 有 |
USB资料输出(CSV) | 有 |
专用收纳盒 | 有 |
显示器与周边 | 另外选购 |
感测器的安装
粒子检出范围 | 15~1000 μm |
测量面积 | 25cm(4.2c㎡ x 6) |
PDR | 99% confidence ±6%(长时间) |
量测间隔 | 最短五分钟(有线网路) |
重量 | 5.0kg(含电池) |
电源需求 | 变压器输入:100v~240v 变压器输出:9v直流，550mA 或安装锂电池:7.2v,7800mAh(可充电) |
电池个数 | 一个传感器，附带两个 |
电池使用期间 | 大约四天，依监控频率 |
网络 | 有线网路或蓝芽2.0(依环境,约15~20m) |
光源 | 20 mA镭射二极体(406 nm) |
光学原理 | 雷射全像技术 |
镭射安全基准 | Class 2M (根据IEC60825-1) |
校正 | 一年一次(建议) |
建议使用环境 | 温度10~35度C;相对湿度10~90%;无凝结处 |
玻璃的承载装置 依粒子堆积情形做更换
材料 | 树脂玻璃 |
使用期限（大略） | 3个月(依测定环境的清洁度而不同) |
包装 | 在控制环境下，双重包装 |
更换时间 | 依软体提示 |
APMON表面粒子沉积监测仪
产品概述
「监控粒子的动态变化」详实记录粒子数量与大小。把制造环境中的粒子堆积风险，用数据化来管理
APMON采即时监控，纪录粒子落下发生的高峰时间，进一步比对发生当下的人、事、物行为，找出引发落尘的“程序”“行为”。这一检测粒子发生原因，并且抑制粒子发生的过程，有助于降低5μm以上的粒子附著。是欧规标准中的重要检讨项目。
经由解析落下粒子的大小
来改善生产线洁净度
APMON可以用图表呈现，过去特定时段内，机台所观测到的粒子大小分布方式。
15~30μm一般是皮肤或纤维、100um以上则多半是衣物纤维造成。30μm以下的粒子，
虽然有可能被换气排出，但是从现场的人员进出程序，与活动管制切入，更能快速达成目标清洁度。
在已经检出50μm以上的大型粒子的空间里，首先应进行洁净流程的重建，后续才能有效回复清洁，
无尘室中所使用，大型粒子的监控规格
粒子堆积率（Particle Deposition Rate）是指？
APMON不只是即时监控15~1000μm的所有粒子的动态数量，他还能计算出-段特定时间内的粒子堆积率PDR
PDR=粒子数（> Dμm）/面积（1m2）/时间（1h）
PDR能指出长时间堆积粒子的趋势，相当于每1平方公尺，表面上的粒子浓度变化率。
探用PDR做评价风险的指标，符合IS014644-17对于大型粒子的监控要求。
相对于PDR, PDRL定了义PDR的上限值（Particle Deposition Rate Limits）
藉由监控粒子堆积率，来管制大型粒子
APMON对于PDR参数的监控，可将生产环境中的落下粒子：浓度变化、大小分布，以及覆盖范围变化等动态，完全掌握。这数据，将协助定义出关键工作区域内的大型粒子「可允许浓度」（个数/面积），并加以监控后续每当「可允许浓度」发生超标的情形，就可以立即针对相关的「行为小「接触小、「表面清洁度J等等，进行试验性的改善，重新降低PDR。
以下是我们对于管控无尘室内的大型粒子，提出的完整建议：
1.使用PartSens评价关键位置的表面污染情形。
2.使用APMON建立无尘室内的行为准则。
APMON/PartSens将粒子的夹带、产生、堆积等过程，全面数据化。
如何详细描述风险性粒子
关键粒径（μm）
容许浓度（粒子数）
产品的关键表面大小（c㎡）
关键工作区域（㎡）
如何设定洁净度的上限规格
PDR （粒子堆积率）上限
SCP（表面洁净度）上限
检测原理
雷射全像技术可以实现大面积的监控
借由雷射光在物体表面绕射，及傅立叶转换等技术，实现3D成像，所得资料，即是五分钟前的粒子落下数量与粒子大小的累积值。
最短监控时间间隔，可以短至五分钟。
能执行大面积的监测,APMON的一大优势
粒子计数器(air particle counter)
只能检测漂浮在无尘室空气中的浮游粒子
粒子计数器（air particle counter）
通常是用窄口径的取样管，吸入粒子。
实际上，大型粒子不容易进到粒子计数器的探测区，也无法被吸入。
ISO等国际标准，已经要求用PDR(数据化）作为落下粒子的有效管控标准。
APMON-即时粒子沉积监控器
透过在生产区域布建APMON，将可以有效监控15μm大小以上的粒子堆积行为（最短探样区间：五分钟）
从此，造成粒子掉落的「时间」「人员」「原因」，都将有迹可循。
■链接示意图
专业软件监控/解析数据
■判读数据显示示例
涵盖粒子大小：
15~ 30~40~ 50~60、70~80~90~ 100~200~ 300~400~500>600~ 700~800~900、1000μm (最大直径)
应用领域
电子、半导体、医药、航空航天、精密仪器、汽车、实验室等领域的洁净室。
技术参数
可透过蓝芽、或有线网路做远端监控
感测器连接上限 | 最多两台 |
感测器无线连接上限 | 最多两台 |
电池(充电器) | 有 |
USB资料输出(CSV) | 有 |
专用收纳盒 | 有 |
显示器与周边 | 另外选购 |
感测器的安装
粒子检出范围 | 15~1000 μm |
测量面积 | 25cm(4.2c㎡ x 6) |
PDR | 99% confidence ±6%(长时间) |
量测间隔 | 最短五分钟(有线网路) |
重量 | 5.0kg(含电池) |
电源需求 | 变压器输入:100v~240v 变压器输出:9v直流，550mA 或安装锂电池:7.2v,7800mAh(可充电) |
电池个数 | 一个传感器，附带两个 |
电池使用期间 | 大约四天，依监控频率 |
网络 | 有线网路或蓝芽2.0(依环境,约15~20m) |
光源 | 20 mA镭射二极体(406 nm) |
光学原理 | 雷射全像技术 |
镭射安全基准 | Class 2M (根据IEC60825-1) |
校正 | 一年一次(建议) |
建议使用环境 | 温度10~35度C;相对湿度10~90%;无凝结处 |
玻璃的承载装置 依粒子堆积情形做更换
材料 | 树脂玻璃 |
使用期限（大略） | 3个月(依测定环境的清洁度而不同) |
包装 | 在控制环境下，双重包装 |
更换时间 | 依软体提示 |
